銀合金、スパッタリングターゲット、反射型LCD用反射板、反射配線電極、薄膜、その製造方法、光学記録媒体、電磁波遮蔽体、電子部品用金属材料、配線材料、電子部品、電子機器、金属膜の加工方法、電子光学部品、積層体及び建材ガラス

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：柳瀬睦肇 , 渡部温
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-160051
公開番号（公開出願番号）：特開2004-002929
出願日： 2002年05月31日
公開日（公表日）： 2004年01月08日
要約：

【課題】優れた耐食性、高い反射率、電気的に低抵抗及び優れた耐熱性の特性を有する銀合金、スパッタリングターゲットを提供する。【解決手段】本発明に係る銀合金は、優れた耐食性を有する銀合金であって、Agを主成分とし、Ti、Zr、Hf、V、Nb、Ta、Cr、Mo、W、Fe、Ru、Co、Rh、Ir、Ni、Pd、Pt、Cu、Au、Zn、Al、Ga、In、Si、Ge及びSnからなる群から選ばれた少なくとも1種類の元素を含有するものである。前記少なくとも1種類の各元素の含有量は0.1at%以上8.0at%以下であることが好ましい。また、本発明に係るスパッタリングターゲットは前記銀合金からなる。前記スパッタリングターゲットは、反射光の黄色化を抑制した反射型LCD用反射板又は反射配線電極を製造するものであることも可能である。【選択図】なし

請求項（抜粋）：

優れた耐食性を有する銀合金であって、銀を主成分とし、チタン、ジルコニウム、ハフニウム、バナジウム、ニオブ、タンタル、クロム、モリブデン、タングステン、鉄、ルテニウム、コバルト、ロジウム、イリジウム、ニッケル、パラジウム、白金、銅、金、亜鉛、アルミニウム、ガリウム、インジウム、ケイ素、ゲルマニウム及びスズからなる群から選ばれた少なくとも1種類の元素を含有することを特徴とする銀合金。

IPC (10件)：

C22C5/06 , C23C14/34 , G02B5/08 , G11B7/24 , G11B7/26 , H01L21/28 , H01L21/285 , H01L21/3205 , H05K1/09 , H05K9/00

FI (10件)：

C22C5/06 Z , C23C14/34 A , G02B5/08 C , G11B7/24 538E , G11B7/26 531 , H01L21/28 301R , H01L21/285 S , H05K1/09 A , H05K9/00 W , H01L21/88 M

Fターム (65件)：

2H042AA32 , 2H042DA04 , 2H042DA11 , 2H042DB06 , 2H042DC02 , 2H042DE07 , 4E351AA02 , 4E351AA13 , 4E351BB01 , 4E351BB42 , 4E351CC03 , 4E351DD04 , 4E351DD05 , 4E351DD06 , 4E351DD08 , 4E351DD14 , 4E351DD17 , 4E351DD19 , 4E351DD20 , 4E351GG06 , 4K029AA09 , 4K029AA11 , 4K029AA24 , 4K029BA04 , 4K029BC01 , 4K029BC03 , 4K029BC07 , 4K029BC10 , 4K029BD00 , 4K029BD02 , 4K029BD09 , 4K029DC03 , 4K029DC04 , 4K029GA01 , 4M104BB08 , 4M104DD37 , 4M104DD40 , 4M104DD64 , 4M104DD65 , 4M104DD79 , 4M104FF13 , 5D029MA13 , 5D121AA05 , 5D121EE03 , 5D121EE14 , 5E321BB23 , 5E321BB44 , 5E321BB60 , 5E321GG05 , 5F033HH14 , 5F033HH19 , 5F033HH20 , 5F033HH21 , 5F033HH33 , 5F033HH38 , 5F033LL09 , 5F033MM05 , 5F033PP15 , 5F033QQ11 , 5F033QQ19 , 5F033QQ73 , 5F033WW03 , 5F033WW04 , 5F033XX00 , 5F033XX18

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