特許
J-GLOBAL ID:200903054433169636
固体撮像装置および固体撮像装置の製造方法
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
三好 秀和 (外9名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2000-047313
公開番号(公開出願番号):特開2001-237405
出願日: 2000年02月24日
公開日(公表日): 2001年08月31日
要約:
【要約】【課題】 低い製造コストで、高集光率、高感度の固体撮像装置を提供する。【解決手段】 固体撮像装置は、基板と、基板上に所定の間隔でマトリクス状態に配置された複数の感光領域と、これらの感光領域を区画する非感光領域の上部に格子状に配置された、断面やま型の低屈折率の区画壁を有する。区画壁で決定される空間には、高屈折率の光学的カラーフィルタ材が直接充填されている。区画壁とカラーフィルタ材との境界面で入射光を全反射させることによって、高い集光率で感光領域上に光を集めることができる。また、シリコン結晶の配向面に応じたエッチング速度の相違を利用して、集光体の反射面を所定の角度に高精度、かつ安定して形成する。
請求項(抜粋):
基板と、前記基板上に所定の間隔でマトリクス状態に配置された複数の感光領域と、前記感光領域を区画する非感光領域の上部に格子状に配置された、断面やま型の低屈折率の区画壁と、前記区画壁で決定される空間に直接充填された高屈折率の光学的カラーフィルタ材とを備え、前記区画壁とカラーフィルタ材との境界面で入射光を全反射させることによって、前記感光領域上に光を集光させることを特徴とする固体撮像装置。
IPC (4件):
H01L 27/14
, H01L 31/10
, H04N 5/335
, H04N 9/07
FI (5件):
H04N 5/335 V
, H04N 5/335 U
, H04N 9/07 D
, H01L 27/14 D
, H01L 31/10 A
Fターム (41件):
4M118AA01
, 4M118AB01
, 4M118BA13
, 4M118BA14
, 4M118CA03
, 4M118CA34
, 4M118DA01
, 4M118DA18
, 4M118DA21
, 4M118DA31
, 4M118FA06
, 4M118FA11
, 4M118FA25
, 4M118FA31
, 4M118FA43
, 4M118GB03
, 4M118GB06
, 4M118GB10
, 4M118GB14
, 4M118GC08
, 4M118GC13
, 4M118GC17
, 4M118GD15
, 5C024AA01
, 5C024CA12
, 5C024CA31
, 5C024DA01
, 5C024EA08
, 5C024FA01
, 5C024FA11
, 5C065BB42
, 5C065CC01
, 5C065DD01
, 5C065EE10
, 5F049MA01
, 5F049RA02
, 5F049SS02
, 5F049SZ06
, 5F049SZ07
, 5F049SZ08
, 5F049SZ20
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