特許

J-GLOBAL ID：200903054440255416

プラズマ診断装置

発明者： 西田 聖一
出願人/特許権者： 三菱重工業株式会社
代理人 (1件)： 鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-058682
公開番号（公開出願番号）：特開平8-255696
出願日： 1995年03月17日
公開日（公表日）： 1996年10月01日
要約：

【要約】【目的】プラズマ状態に外乱を与えることなく、プラズマ反応容器内部が汚れるような状態におけるプラズマ中の電子密度計測を計測時間(継続時間)の制約なしに行なうことを可能にする。【構成】成膜やガスの分解、合成、及び表面処理等を行なうためにプラズマ反応容器1内に発生されたプラズマ1cの電子密度を測定し、プラズマの状態を診断するプラズマ診断装置において、プラズマ1c中に電磁波を入射させる送信機3及び送信アンテナ5と、送信アンテナ5から入射され、プラズマ1c中を通過した電磁波を吸収する受信アンテナ6及び無反射終端器7と、送信アンテナ5から入射されプラズマ1cにより反射された電磁波を検出し、その反射波の周波数に基づいて電子密度を算出し、その結果を表示する演算表示器8を具備して構成する。

請求項（抜粋）：

成膜やガスの分解、合成、及び表面処理等を行なうためにプラズマ反応容器内に発生されたプラズマの電子密度を測定し、プラズマの状態を診断するプラズマ診断装置において、プラズマ中に電磁波を入射させる電磁波入射手段と、前記電磁波入射手段によって入射され、プラズマ中を通過した電磁波を吸収する電磁波吸収手段と、前記電磁波入射手段によって入射されプラズマにより反射された電磁波を検出し、その反射波の周波数に基づいて電子密度を算出する演算手段とを具備したことを特徴とするプラズマ診断装置。