特許
J-GLOBAL ID：200903054451009956
走査探針を用いた顕微鏡等の探針位置制御装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
菅井 英雄 (外7名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-335256
公開番号（公開出願番号）：特開平7-198315
出願日： 1993年12月28日
公開日（公表日）： 1995年08月01日
要約：
【要約】【目的】 熱ドリフトによる探針と試料との衝突を防止する。【構成】 トンネル顕微鏡において、探針を試料面に対向した初期位置にアプローチした際のZ方向駆動信号の初期値を保持する保持手段と、前記探針を走査する際に前記Z方向駆動信号を検出する検出手段と、当該検出手段の検出出力とあらかじめ設定したZ方向駆動信号のしきい値とを比較し、前記検出出力が前記しきい値を越えたとき出力を与える比較手段と、当該比較手段の出力に対応して、Z方向駆動信号が前記初期値と等しくなる位置まで探針を試料面から退避させる制御手段とを設ける。
請求項（抜粋）：
試料面に対して相対的に探針をX,Y方向に走査し、探針と試料間にバイアス電圧を印加し、探針と試料間に流れるトンネル電流を検出してトンネル電流値に基づいて探針をZ方向に駆動すると共に、トンネル電流値または探針のZ方向駆動信号に基づいて試料面の凹凸像を表示するようにした走査探針を用いた顕微鏡等において、前記探針を試料面に対向した初期位置にアプローチした際のZ方向駆動信号の初期値を保持する保持手段と、前記探針を相対走査する際に前記Z方向駆動信号を検出する検出手段と、当該検出手段の検出出力とあらかじめ設定したZ方向駆動信号のしきい値とを比較し、前記検出出力が前記しきい値を越えたとき出力を与える比較手段と、当該比較手段の出力に対応して、Z方向駆動信号が前記初期値と等しくなる位置まで探針を試料面から退避させる制御手段とを設けたことを特徴とする走査探針を用いた顕微鏡等の探針位置制御装置。
IPC (2件)：
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