特許
J-GLOBAL ID：200903054452249500
感放射線性樹脂組成物
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
福沢 俊明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-134431
公開番号（公開出願番号）：特開平5-307262
出願日： 1992年04月28日
公開日（公表日）： 1993年11月19日
要約：
【要約】【目的】 エキシマレーザー等の遠紫外線を含む各種の放射線により、高感度、且つ高解像度で良好なパターンプロファイルに超微細加工することができる新規感放射線性組成物を提供する。【構成】 感放射線性樹脂組成物は、(A)ポリ(ヒドロキシスチレン)系重合体のフェノール性水酸基の水素原子の一部をアリールメチル基で置換した構造を有する重合体、並びに(B)放射線の照射により酸を発生する化合物を主成分とする。
請求項（抜粋）：
(A)下記一般式(1)で表される少なくとも1種の繰返し単位と下記一般式(2)で表される少なくとも1種の繰返し単位とを有し、一般式(1)で表される繰返し単位の数をx、一般式(2)で表される繰返し単位の数をyとすると、xおよびyが0.05≦x/(x+y)<0.9の関係を満たす重合体またはその水素添加物、並びに(B)放射線の照射により酸を発生する化合物を含有することを特徴とする感放射線性樹脂組成物。【化1】〔一般式(1)において、R<SP>1</SP>は水素原子またはアルキル基を示し、4個のR<SP>2</SP>は互いに同一でも異なってもよく、水素原子、ハロゲン原子、水酸基、アルキル基、アルケニル基、アルコキシ基、アリール基またはアラルキル基を示し、R<SP>3</SP>〜 R<SP>5</SP>は互いに同一でも異なってもよく、水素原子、ハロゲン原子、水酸基、アルキル基、アルケニル基、アルコキシ基、アリール基またはアラルキル基を示し、R<SP>3</SP>〜R<SP>5 </SP>のうちの少なくとも1つはアリール基である。〕【化2】〔一般式(2)において、R<SP>6</SP>は水素原子またはアルキル基を示し、4個のR<SP>7</SP>は互いに同一でも異なってもよく、一般式(2)のR<SP>2</SP>について挙げた置換基を示す。〕
IPC (4件)：
G03F 7/039 501
, G03F 7/004 503
, G03F 7/028
, H01L 21/027
