特許
J-GLOBAL ID：200903054454066837
超音波洗浄用ノズル装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-188814
公開番号（公開出願番号）：特開平5-031469
出願日： 1991年07月29日
公開日（公表日）： 1993年02月09日
要約：
【要約】【目的】この発明は、振動が付与された洗浄液を、ノズル口の長さ方向の全長から均一な速度で流出させることができるようにした超音波洗浄用ノズル装置を提供することを目的とする。【構成】ノズル口8がスリット状に形成されたノズル本体1と、このノズル本体1に上記ノズル口8と対向して設けられた超音波振動する振動体5と、この振動体5を超音波振動させる発振器15と、一端が上記ノズル口8に連通して形成され他端から洗浄液が供給されるスリット状の洗浄液流通部11とを具備したことを特徴とする。
請求項（抜粋）：
ノズル口がスリット状に形成されたノズル本体と、このノズル本体に上記ノズル口と対向して設けられた超音波振動する振動体と、この振動体を超音波振動させる発振器と、上記ノズル口に洗浄液を供給するスリット状の洗浄液流通部とを具備したことを特徴とする超音波洗浄用ノズル装置。
IPC (3件)：
B08B 3/12
, B05B 17/06
, H01L 21/304 341
