特許

J-GLOBAL ID：200903054460808160

ガスレーザ発振器

発明者： 寺井 清寿 ,  小林 伸次 ,  玉川 徹 ,  村田 隆昭 ,  鈴木 博勝 ,  森口 晃
出願人/特許権者： 株式会社東芝
代理人 (1件)： 則近 憲佑
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-106299
公開番号（公開出願番号）：特開平5-299742
出願日： 1992年04月24日
公開日（公表日）： 1993年11月12日
要約：

【要約】【構成】 本発明は、内部をレーザ媒質であるガスが満たす容器と、対向して設けられた少なくとも一対の放電電極と、この放電電極に接続され、交流電圧を印加する交流電源とを具備し、前記交流電源の周波数が700 kHz以上であり、前記交流電源に固体素子を用いてスイッチング動作をさせ、かつその1ユニットあたりの高周波電力出力が4kW以上であることを特徴とする。【効果】 本発明によれば、放電周波数700 kHz以上の交流電源を藻散ることにより放電電力をレーザ励起に有効な領域に注入することができるので、レーザ発振効率が高くでき、かつ電源容量を大きくできる固体素子スイッチング電源を用いているため、電源の大容量化と電源効率の向上が実現でき、総合効率の高いコンパクトなガスレーザ発振器を得ることができる。

請求項（抜粋）：

内部をレーザ媒質であるガスが満たす容器と、対向して設けられた少なくとも一対の放電電極と、この放電電極に接続され、交流電圧を印加する交流電源とを具備し、前記交流電源の周波数が700 kHz以上であり、前記交流電源に固体素子を用いてスイッチング動作をさせ、かつその1ユニットあたりの高周波電力出力が4kW以上であることを特徴とするガスレーザ発振器。