特許
J-GLOBAL ID:200903054462822349

駆動装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 青山 葆 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平9-026427
公開番号(公開出願番号):特開平10-225150
出願日: 1997年02月10日
公開日(公表日): 1998年08月21日
要約:
【要約】【課題】 ストロークが長く、かつ、駆動方向と被駆動部材の移動の案内方向との平行度が十分でなくても駆動が可能な駆動装置を提供する。【解決手段】 ベース12の上方にリニアベアリング14によりステージ30を移動可能に支持する。一対の案内摩擦部材16,17を、支持ばね18によってテージ30の移動方向と平行に弾力的に支持し、その間に、質量の大きい移動体24に圧電素子22と質量の小さい駆動軸27とが直列に結合されてなる移動ユニット20を配置し、移動体24をステージ本体30aの裏面に固定し、駆動軸27の球形状の本体部27aと案内摩擦部材16,17の対向する平面16z,17zとを摩擦結合する。圧電素子22を所定パターンで伸縮させて移動体24とステージ30とを駆動するときに、ステージ30の案内方向と駆動方向とがずれても、案内移動部材16,17は駆動軸27の振れに追従する。
請求項(抜粋):
ベースと、該ベースに対して移動するステージと、駆動パルス発生手段に接続されて伸縮する電気機械変換素子を含み、該電気機械変換素子の伸縮によって上記ステージを上記ベースに対して移動させる駆動ユニットとを備える駆動装置において、上記駆動ユニットは、上記ステージに固着結合された移動体と、その伸縮方向が上記ステージの移動方向に一致するように配置され、その伸縮方向の一端が上記移動体に固着結合された電気機械変換素子と、該電気機械変換素子の伸縮方向の他端に固着結合され、上記移動体より質量が小さい駆動摩擦部材とを有し、上記ベースに支持され、上記ステージの移動方向に対して直角方向の上記駆動ユニットの上記駆動摩擦部材の変位に追従して移動して、上記駆動摩擦部材に摩擦結合する案内摩擦部材と、上記ステージをその移動方向に案内する案内手段とを備えたことを特徴とする、駆動装置。

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