特許

J-GLOBAL ID：200903054463858665

蒸着用スクリーンマスク、蒸着方法及び有機EL素子の製造方法

発明者： 山田 裕康
出願人/特許権者： カシオ計算機株式会社
代理人 (1件)： 荒船 博司 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-060790
公開番号（公開出願番号）：特開2001-247961
出願日： 2000年03月06日
公開日（公表日）： 2001年09月14日
要約：

【要約】【課題】 高精細なパターニングに対応可能で、コスト低減に寄与することができる蒸着用スクリーンマスク、蒸着方法及び有機EL素子の製造方法を提供する。【解決手段】 磁性材料からなるメッシュ状のスクリーン部12と、該スクリーン部12の下面側に突出するマスク部13と、等からなる蒸着用スクリーンマスク10を用いて、適宜な磁力によりスクリーン部12を基板側に押しつけた状態で、有機EL素子のカソード電極を蒸着により形成する。マスク部13は、乳剤を用いてカソード蒸着パターンAの反転パターンに形成する。マスク部13は、感光性をもつ乳剤から形成されているので、微細パターンの形成が容易であり、カソード蒸着パターンAを微細パターンに蒸着することができる。また、蒸着は、蒸着用スクリーンマスク10を基板に設置することで行うことができ、簡易的である。

請求項（抜粋）：

基板上に蒸着によりパターニングされた膜を形成する際にマスクとして用いられる蒸着用スクリーンマスクであって、複数の第1開口部を区画する隔壁を有するマスク部と、各々の開口面積が前記各第1開口部の開口面積より小さい複数の第2開口部を有し、前記複数の第2開口部が前記マスクの前記各第1開口部上に配置される磁性材料を含むメッシュ状のスクリーン部と、を備えることを特徴とする蒸着用スクリーンマスク。

IPC (4件)：

C23C 14/24 ,  C23C 14/04 ,  H05B 33/10 ,  H05B 33/14

FI (4件)：

C23C 14/24 G ,  C23C 14/04 A ,  H05B 33/10 ,  H05B 33/14 A

Fターム (14件)：

3K007AB18 ,  3K007BA06 ,  3K007CA01 ,  3K007CB01 ,  3K007DA01 ,  3K007DB03 ,  3K007EB00 ,  3K007FA01 ,  4K029AA09 ,  4K029AA24 ,  4K029BB03 ,  4K029HA02 ,  4K029HA03 ,  4K029HA04