特許
J-GLOBAL ID：200903054488787983
静電チャック
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
亀谷 美明 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-177360
公開番号（公開出願番号）：特開平7-086380
出願日： 1993年06月24日
公開日（公表日）： 1995年03月31日
要約：
【要約】【目的】 安定かつ最小のジョンセン-ラーベック力を発生させることが可能な静電チャックを提供する。【構成】 本発明に基づいて構成された静電チャックは、定電流電源(8)により被処理体(W)と絶縁膜(5)との間に流れる電流を一定に保持することが可能なので、高周波電源の印加により生じる自己バイアス電位が変化した場合であっても、常に所望のジョンセン-ラーベック力を絶縁膜と被処理体との間に作用させることが可能であり、安定した静電吸着を達成することができる。しかも定電流電源(8)により、被処理体を絶縁膜に対して吸着保持するに十分なジョンセン-ラーベック力を生じさせ得る最少の電流を電極に流す構成としているので、被処理体を静電チャックに十分に吸着保持した場合であっても、流れる電流により被処理体上に形成された集積回路を破壊することはない。
請求項（抜粋）：
チャックサセプタ上の電極と被処理体との間に絶縁膜を介挿するとともに、その電極に所定電圧を印加することにより前記絶縁膜と前記被処理体との間に生じるジョンセン-ラーベック力により前記被処理体を前記絶縁膜に対して吸着保持させる静電チャックにおいて、前記被処理体を前記絶縁膜に対して吸着保持するに十分なジョンセン-ラーベック力を生じさせ得る最少の電流を前記電極に流すための定電流電源を設けたことを特徴とする静電チャック。
IPC (3件)：
H01L 21/68
, H02N 13/00
, H01L 21/3065
