特許

J-GLOBAL ID：200903054494351283

機械装置

発明者： 新山 喜三郎
出願人/特許権者： 東京化工機株式会社
代理人 (1件)： 合志 元延
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-265391
公開番号（公開出願番号）：特開平6-088254
出願日： 1992年09月08日
公開日（公表日）： 1994年03月29日
要約：

【要約】【目的】 第1に、機械間の接続箇所からの薬液やガスの漏れを防止しつつ、第2に、熱膨張係数の異なる各機械の温度変化による伸縮が吸収され、もって、機械の亀裂や亀裂箇所からの薬液やガスの流出が防止され、機械内のコンベヤが曲げられ自動ラインが停止することも防止される、機械装置を提案する。【構成】 この機械装置では、乾燥機5やエッチングマシン1,2,3,4や剥離機6等のハウジング状をなす複数の機械が、組み合わせて配置され、プリント配線基板Pが、各機械内を順次自動的に搬送されつつ所定の処理が行われる。この各機械1,2,3,4,5,6は、材質が異なると共に、相互間の接続箇所にそれぞれのクッション部A,B,Cが介裝されている。クッション部A,B,Cは、外部との密封性を備えると共に、その機械1,2,3,4,5,6の熱膨張係数に応じた温度変化による伸縮を吸収可能なクッション性を備えている。

請求項（抜粋）：

複数の機械を組み合わせて配置してラインを形成し、プリント配線基板等の対象物が、ハウジング状をなす該各機械内を順次自動的に搬送されつつ各々所定の処理が行われる、機械装置であって、該各機械は、材質の異なった合成樹脂製や各種金属製等よりなると共に、相互間の接続箇所にそれぞれのクッション部が介裝されており、該クッション部は、内部を上記プリント配線基板等の対象物が通過可能であると共に、外部との密封性を備え、かつ、該機械の熱膨張係数に応じた温度変化による伸縮を吸収可能なクッション性を備えていること、を特徴とする機械装置。

IPC (4件)：

C23F 1/08 ,  B65G 47/52 ,  B65G 49/00 ,  H01L 21/68

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特開昭57-208387
  
• 特開昭62-171588