特許

J-GLOBAL ID：200903054494399855

パルスガスレーザ装置の出力安定化方法及びそれを用いたパルスガスレーザ装置

発明者： 横川 博之 ,  實野 孝久
出願人/特許権者： エヌ・ディー・シー株式会社
代理人 (1件)： 柳野 隆生
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-112596
公開番号（公開出願番号）：特開平6-326397
出願日： 1993年05月14日
公開日（公表日）： 1994年11月25日
要約：

【要約】【目的】 繰り返し周期が短く且つピーク出力の大きい短パルス幅のレーザ光を発生するパルスガスレーザ装置における放電ガスの逆流の問題を解消するとともに、放電部に常に新しい媒質ガスを均一に供給することでレーザ出力の安定化(±1〜2%以内)を図ったパルスガスレーザ装置の出力安定化方法及びそれを用いたパルスガスレーザ装置を提供することを目的とする。【構成】 一対の反射鏡2,3の光軸Lに沿って所定間隔のギャップGを形成した一対以上の主放電電極4,5を配設するとともに、該主放電電極を臨む一側に逆流規制機能及び均一拡散機能を備えた媒質ガスを連続的に供給する給気ダクト6の開口8を配設し且つ他側に主放電電極間を通過した放電ガスを排気する排気ダクト7の開口9を配設してなる。

請求項（抜粋）：

主放電電極間を臨む一側に配設した逆流防止機能及び均一拡散機能を備えた給気ダクトから媒質ガスを連続的に供給するとともに、主放電電極による放電で生成した放電ガスを他側に配設した排気ダクトにて排気し、放電ガス中に含まれる寿命の長いイオンが再度主放電電極間に逆流することを防止し、該イオンによる出力の不安定要因を排除してなることを特徴とするパルスガスレーザ装置の出力安定化方法。