特許
J-GLOBAL ID：200903054498785369
両面基板検査装置
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-302814
公開番号（公開出願番号）：特開平6-118115
出願日： 1992年09月30日
公開日（公表日）： 1994年04月28日
要約：
【要約】【目的】 各種電子部品が装着される基板の上下両面に印刷された回路パターンの電気特性等を検査する両面基板検査装置を提供する。【構成】 プローブピンを備えた検査ユニット8,9をXY平面上で移動させかつXY平面と平行に回転させる位置決め機構を上下に対向して昇降自在に設ける。それぞれの検査ユニットに隣接してCCDカメラ6,7を上下に対向して固定する一方、CCDカメラ間、検査ユニット間それぞれで停止するように移動するワーク移載台41を配置し、このワーク移載台の中央部に基板の裏面が露出する窓部を設け、下方からプローブピンが基板に接触できるように構成している。【効果】 基板の上、下面それぞれに印刷された回路パターンの正規の位置からのずれ、傾きをCCDカメラで検出してその検出量に応じてプローブピンの位置を変更でき、所定の検査を確実に行うことができる。また、基板上、下面同時に検査を行うことができる。
請求項（抜粋）：
回路パターンの姿勢を示すマークを上、下面に持つ基板が載置されるワーク移載台を水平方向に往復移動させる移動手段を配置し、この移動手段のワーク移載台の中央部に基板の下面が露出する窓部を設けるとともに、このワーク移載台の移動路を挾む位置に上、下面のマークの位置をそれぞれ検出するCCDカメラを対向して配置し、さらに、前記CCDカメラそれぞれから水平方向に所定距離離れた位置で、ワーク移載台の移動路を挾むように、所定検査を行う所定本数のプローブピンが備付けられた検査ユニットをXY平面上で移動させかつXY平面に平行に回転させる位置決め機構を対向して昇降するように配置する一方、前記各CCDカメラにはこれより検出されるマークの位置から回路パターンの位置ずれ量および傾き量を算出する演算部を持ち、しかもワーク移載台が位置決め機構の間に位置すると、前記演算部から転送される位置ずれ量および傾き量を受けて各位置決め機構を順次作動させる制御部を接続したことを特徴とする両面基板検査装置。
IPC (2件)：
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