特許
J-GLOBAL ID：200903054502891659
光ビーム測定装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
平田 忠雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-014293
公開番号（公開出願番号）：特開平10-213415
出願日： 1997年01月28日
公開日（公表日）： 1998年08月11日
要約：
【要約】【課題】 コスト高を招くことなく、複数の光ビームのスポットの径,位置等の測定を高速かつ高精度に行うことができる光ビームのスポット測定装置を提供する。【解決手段】 CCDラインセンサ3は、副走査方向(Z方向)の全てのスポットの像が写るような視野を有している。制御部4は、X軸ステージ5によって拡大光学系2とCCDラインセンサ3を主走査方向(X方向)に移動させながら、CCDラインセンサ3で随時光量信号を拡大光学系2を介して取り込む。制御部4は、光量信号に基づいて複数の光ビームのスポットの径,位置等を測定する。
請求項（抜粋）：
2次元状に所定のパターンで配置された複数の光源を有する光源アレイから出射された複数の光ビームにより、所定の高さと、所定の横幅を有する2次元状の走査面を走査する光走査装置において、前記走査面の高さ方向の前記複数の光ビームを同時に検出する高さの受光面を有した光検出手段と、前記光検出手段を前記走査面の横方向に移動させる移動手段と、前記移動手段を制御して前記光検出手段を前記横方向に移動させることにより、前記光検出手段に前記走査面の全領域の前記複数の光ビームを検出させる制御手段と、前記光検出手段から出力される検出信号に基づいて前記走査面上における前記複数の光ビームのビーム径,ビーム位置,ビーム位置間距離等の光ビームデータを演算する演算手段を備えたことを特徴とする光ビーム測定装置。
IPC (4件)：
G01B 11/00
, G03G 15/043
, G03G 15/04
, H01S 3/00
G01B 11/00 D
, H01S 3/00 G
, G03G 15/04 120
