特許
J-GLOBAL ID：200903054503211473
ブラシ式洗浄装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
笹島 富二雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-023758
公開番号（公開出願番号）：特開平10-223583
出願日： 1997年02月06日
公開日（公表日）： 1998年08月21日
要約：
【要約】【課題】被洗浄物への汚染物質の再付着を防止し、洗浄効果を向上する。【解決手段】ブラシ14の軸線方向と同じ幅を有するスクレイパー17を、ブラシ14に接離可能に設ける。このスクレイパー17のブラシ14に当接する側の一端縁付近には、洗浄液を吐出する複数の吐出孔27が穿設してある。ブラシ14による洗浄が終了した後、スクレイパー17がブラシ14に当接する所定位置まで移動して、ブラシ14の円筒状本体14aに設けられた吐出孔28と、スクレイパー17の吐出孔27とから洗浄液を吐出しながらブラシ14を回転させ、ブラシ14に付着・堆積した汚染物質を掻き落とす。
請求項（抜粋）：
円筒状本体の周壁に軟質の洗浄用部材を有し、該本体の中心軸回りを回転するブラシを、前記中心軸が相互に略平行になるように複数配置した洗浄部と、該洗浄部のブラシの間への被洗浄物の搬入および搬出を行なう搬送部と、を含んで構成されるブラシ式洗浄装置において、一端縁を前記ブラシに当接させて前記ブラシに付着した汚染物質を除去する板状スクレイパーを、前記ブラシから接離可能に、前記複数のブラシの各々に対応させて設けたことを特徴とするブラシ式洗浄装置。
IPC (2件)：
H01L 21/304 341
, B08B 1/04
H01L 21/304 341 B
, B08B 1/04
