特許
J-GLOBAL ID：200903054506539690
基板整列装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小谷 悦司 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-100410
公開番号（公開出願番号）：特開平9-289244
出願日： 1996年04月22日
公開日（公表日）： 1997年11月04日
要約：
【要約】【課題】 サイズが大きい基板や薄い基板に対しても基板の損傷やパーティクルの発生なく容易に整列させる。【解決手段】 カセット内に収納された基板13の下方にローラ27などのコロ部材を挿入し、基板13をローラ27で受けて持ち上げ、この状態で基板13をその両側から整列当たり部材28で挾み込んで押圧することで、基板13を所定の整列位置に移動させるので、基板13の下面はローラ27のころがり摩擦を受けており、サイズが大きい基板や薄い基板に対しても基板13の損傷やパーティクルの発生がなく、より少ない摩擦係数で容易に整列移動可能となる。
請求項（抜粋）：
下面端部を支持部材により支持されてカセット内に収納された基板を両側から押圧して所定位置に整列させる基板整列装置において、前記支持部材により支持された基板の下面端部に当接すると共に、前記支持部材の基板に対する摩擦係数より小さい摩擦係数を有する当接部材と、前記基板の端面を押圧する押圧部材と、前記下面端部の下方位置と前記当接部材を下面端部に当接させた状態で前記基板を支持部材から持ち上げて離間させる上方位置との間で、前記当接部材を昇降させる当接部材昇降手段と、前記上方位置において基板が当接部材により持ち上げられた状態で、前記押圧部材を基板の内側へ向かう方向に基板が所定位置に整列される整列位置まで移動させる押圧部材移動手段とを備えたことを特徴とする基板整列装置。
IPC (2件)：
FI (3件)：
H01L 21/68 U
, H01L 21/68 A
, B65D 85/38 R
