特許
J-GLOBAL ID：200903054506615311
ペリクル
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
山本 亮一 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-043264
公開番号（公開出願番号）：特開平6-236022
出願日： 1993年02月08日
公開日（公表日）： 1994年08月23日
要約：
【要約】 (修正有)【目的】 本発明はペリクルフレームとレチクルとを接着剤や粘着剤を使用せずに固着し、したがって接着剤、粘着剤の使用による接着力低下、ゴミの発生を防止したペリクルフレームとレチクルとを固着したペリクルの提供を目的とするものである。【構成】 本発明のペリクルは、磁性材料または非磁性材料から作られ磁性材料を用いて成形されたペリクルフレームとレチクルとを磁石などによる磁力で固着してなることを特徴とするものである。
請求項（抜粋）：
ペリクルフレームとレチクルとを磁力により固定してなることを特徴とするペリクル。
IPC (2件)：
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