特許
J-GLOBAL ID:200903054514986558

光学系の透過率測定装置及び測定方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 泉名 謙治
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平5-238213
公開番号(公開出願番号):特開平7-092084
出願日: 1993年09月24日
公開日(公表日): 1995年04月07日
要約:
【要約】【目的】光学系の透過率測定の精度向上を図る。【構成】平行光束生成手段1からの光束を光強度検出手段5で直接受光したときの出力と、平行光束生成手段1からの光束中に光学系aと光学系bを配置したときの出力と、光学系bと光学系cを配置したときの出力と、光学系cと光学系aを配置したときの出力とから、光学系a、b、cの透過率を算出する。
請求項(抜粋):
平行光束生成手段と、光強度検出手段と、平行光束生成手段からの平行光束を光強度検出手段で直接受光したときの出力と、平行光束生成手段からの光束中に透過率が未知の光学系aと透過率が未知の光学系bを配置したときの光強度検出手段の出力と、平行光束生成手段からの光束中に光学系bと透過率が未知の光学系cを配置したときの光強度検出手段の出力と、平行光束生成手段からの光束中に光学系cと光学系aを配置したときの光強度検出手段の出力を記憶する記憶手段と、上記各出力値を基に光学系a、光学系b、光学系cの透過率を算出する演算手段とを備えたことを特徴とする光学系の透過率測定装置。
IPC (2件):
G01N 21/59 ,  G01M 11/00

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