特許

J-GLOBAL ID：200903054517961068

位置計測装置、該位置計測装置を備えた露光装置及び該位置計測装置を使用する露光方法

発明者： 金谷 有歩
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 安瀬 正敏
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-254997
公開番号（公開出願番号）：特開2006-071440
出願日： 2004年09月01日
公開日（公表日）： 2006年03月16日
要約：

【課題】計測精度を維持してアライメントのスループット性を向上させた位置計測装置等を提供すること。【解決手段】AFセンサ60のCCDカメラ61は非計測方向に96行(ライン)、計測方向に1024列のピクセル(96×1024)を有した2次元CCDカメラであり、入力した計測信号を処理する方法として、各ライン上のピクセルに蓄積された光量に相当する電荷(信号)を所定時間毎に1ラインずつ順次加算を繰り返す(電荷を順次転送して加算を繰り返す)、TDI計測モード(ステップS101参照)と、各ライン上のピクセルに蓄積された光量に相当する電荷(信号)を96ライン分一度に加算(電荷を一度に転送して加算)する、WA計測モード(ステップS103参照)と、を含み、このTDI計測モードとWA計測モードを計測条件に合わせて切り換える。【選択図】 図2

請求項（抜粋）：

二次元平面内を移動するステージ上に載置された物体の該二次元平面内における位置を計測する位置計測装置であって、 前記物体上に形成された位置計測用パターンに計測ビームを照射し、該計測ビームの照射を受けて該位置計測用パターンから生じたパターンビームを受光素子で受光し、その受光量に応じて光電変換信号を出力するパターン検出センサと、 前記受光素子の受光面の位置と、前記パターンビームの結像位置との間の、フォーカス方向におけるズレ量を計測するフォーカス状態検出センサと、を有し、 前記フォーカス状態検出センサは複数の計測モードで使用可能であり、該フォーカス状態検出センサが計測に供される時の使用条件に応じて、該複数の計測モード中の任意の計測モードに切り換え設定されることを特徴とする位置計測装置。

IPC (2件)：

G01B 11/00 ,  H01L 21/027

FI (3件)：

G01B11/00 C ,  H01L21/30 525W ,  H01L21/30 525Q

Fターム (40件)：

2F065AA02 ,  2F065AA03 ,  2F065AA04 ,  2F065AA06 ,  2F065AA07 ,  2F065AA14 ,  2F065AA20 ,  2F065AA24 ,  2F065BB02 ,  2F065BB03 ,  2F065BB27 ,  2F065CC20 ,  2F065DD06 ,  2F065FF01 ,  2F065FF04 ,  2F065FF10 ,  2F065FF55 ,  2F065GG02 ,  2F065GG07 ,  2F065HH03 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ05 ,  2F065JJ14 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL12 ,  2F065LL28 ,  2F065LL46 ,  2F065NN20 ,  2F065PP12 ,  2F065QQ24 ,  2F065QQ25 ,  2F065QQ27 ,  2F065QQ34 ,  2F065TT08 ,  5F046EB01 ,  5F046ED02 ,  5F046FA03 ,  5F046FA11 ,  5F046FC04 ,  5F046FC10