特許
J-GLOBAL ID：200903054526557911
ドライフィルムフォトレジスト
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
正林 真之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-314929
公開番号（公開出願番号）：特開平11-202482
出願日： 1998年11月05日
公開日（公表日）： 1999年07月30日
要約：
【要約】【課題】 印刷回路基板(Printed Circuit Board、以下PCBという)、リードフレーム(lead frame)及びBGA(Ball Grid Array)などの製作に用いられるドライフィルムフォトレジストにおいて、保護フィルム(cover film)として所定の表面特性を満足するテレフタル酸ポリエチレンフィルムを用いることによって高解像が要求される製品の不良率を最小化し得るドライフィルムフォトレジストを提供する。【解決手段】 アクリル系共重合体を結合高分子にし、ここに光重合モノマー、光開始剤、光増減剤、発色剤、可塑剤及び熱安定剤を添加してなった感光性高分子をテレフタル酸ポリエチレン支持体フィルム上に任意の厚さで塗布及び乾燥し、ここに所定の表面特性を有するテレフタル酸ポリエチレンフィルムで保護積層してドライフィルムフォトレジストを製造する。
請求項（抜粋）：
支持体フィルム、感光性高分子層及び保護フィルムを順次積層して製造されたドライフィルムフォトレジストであって、前記保護フィルムは下記式で表示される表面特性を満足させるテレフタル酸ポリエチレン2軸延伸フィルムであることを特徴とするドライフィルムフォトレジスト。【数1】3.0nm≦SRa≦50nm,50nm≦Spv≦500nm,300個≦サミット密度≦20,000個前記式でSRaは非接触式3次元表面粗度計で測定した中心線の平均粗さで、Spvはピーク(peak)からバレー(valley)までの高さの差で、サミット密度(Summit Density)は単位面積(1mm2)当たりのサミット(サミットとは、あるポイント(1ポイントは2μm×2μm)における高さが、その四囲のポイントにおける高さよりも1nm以上高い場所のことをいう)の数を示す。
IPC (2件)：
G03F 7/004 512
, G03F 7/11 501
G03F 7/004 512
, G03F 7/11 501
