基板端縁部被膜の除去方法及び除去装置

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：稲元富保 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-300943
公開番号（公開出願番号）：特開平8-102434
出願日： 1994年12月05日
公開日（公表日）： 1996年04月16日
要約：

【要約】【目的】使用する溶剤の使用量を極めて少なくすることができる基板端部被膜の除去方法と装置を提供する。【構成】除去ユニット10を基板Wに接近する方向に移動せしめ、除去ユニット10のスリット20及び溶剤貯留部14のスリット16を介して、基板Wの左右の辺の端縁を溶剤貯留部14内に入れる。そして溶剤を満たした溶剤貯留部14内に基板Wの端縁を挿入した後、所定時間浸漬し、基板Wの端縁に付着したレジスト膜を溶解せしめた後、前記とは逆方向に一対の除去ユニット10,10を移動し、基板Wを溶剤貯留部14内から引き抜く。この時ノズル孔23,24からガス及び純水を基板Wの端縁に噴出することで、端縁の残渣を除去する。

請求項（抜粋）：

予め溶剤を満たした溶剤貯留部に基板の端縁を水平方向から挿入した後、溶剤貯留部内の溶剤中に基板の端縁を所定時間浸漬して基板端縁の余分な付着物を除去するようにしたことを特徴とする基板端縁部被膜の除去方法。

引用特許：

出願人引用 (3件)

特開平3-006812
ウエハ上の不要レジスト露光装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-177696 出願人：ウシオ電機株式会社
特開平1-295421

審査官引用 (3件)

特開平3-006812
ウエハ上の不要レジスト露光装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-177696 出願人：ウシオ電機株式会社
特開平1-295421

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