特許
J-GLOBAL ID:200903054529818333
光偏向器及びこの光偏向器を適用した光ピックアップ
発明者:
,
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出願人/特許権者:
代理人 (9件):
三好 秀和
, 三好 保男
, 岩▲崎▼ 幸邦
, 栗原 彰
, 川又 澄雄
, 中村 友之
, 伊藤 正和
, 高橋 俊一
, 高松 俊雄
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2002-298587
公開番号(公開出願番号):特開2004-133249
出願日: 2002年10月11日
公開日(公表日): 2004年04月30日
要約:
【課題】光偏向器の小電力化を図る。【解決手段】外枠部11a内に一対の梁部11b,11cとミラー部11dとを形成したミラー体11をミラー体支持台12上に取り付けた際、ミラー体支持台12に形成した左右の傾斜面12a,12bに沿って固定電極13A,13Bを取り付け、且つ、ミラー体11内のミラー部11dと固定電極13A又は固定電極13Bとの間のギャップを絶縁層14を介して小さく設定することで、非常に小さな電圧でミラー体11内のミラー部11dを傾斜した固定電極13A又は傾斜した固定電極13Bに沿って吸引したままの状態を保持することができ、第1実施例の光偏向器10Aの小電力化を図ることができる。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
外枠部内から一対の梁部を互いに対向してそれぞれ内側に延出させ、且つ、前記一対の梁部間にミラー部を該一対の梁部を中心に揺動可能に形成したミラー体と、
前記ミラー体内に形成した一対の梁部間の裏面と対応した位置に該一対の梁部間に沿った頂点を設定し、この頂点を堺にして一方側に下方に向かう傾斜面を形成し、且つ、他方側に下方に向かう傾斜面又は前記頂点と同じ高さの平坦面を形成し、更に、前記ミラー体の外枠部の裏面を支持するためのミラー体支持面を前記頂点と同じ高さ位置又は該頂点よりも僅かに高い位置に形成したミラー体支持台と、
前記ミラー体支持台に形成した一方側の前記傾斜面上と、他方側の前記傾斜面上又は前記平坦面上とにそれぞれ取り付けた一対の固定電極と、
前記ミラー体内のミラー部と前記一対の固定電極との短絡を防止するために該一対の固定電極上に膜付けした絶縁層と、
前記ミラー体内のミラー部を前記傾斜面上に取り付けた前記固定電極に沿って傾動させるミラー傾動手段と、
前記ミラー体内のミラー部を前記絶縁層を介して前記固定電極側に吸引した状態で保持させるミラー吸引保持手段とを備えたことを特徴とする光偏向器。
IPC (4件):
G02B26/10
, B81B3/00
, G02B26/08
, G11B7/135
FI (5件):
G02B26/10 104Z
, B81B3/00
, G02B26/08 E
, G11B7/135 A
, G11B7/135 Z
Fターム (22件):
2H041AA14
, 2H041AB14
, 2H041AC06
, 2H041AZ02
, 2H041AZ08
, 2H045AB06
, 2H045AB43
, 2H045DA02
, 2H045DA11
, 2H045DA31
, 5D789AA37
, 5D789AA41
, 5D789BA01
, 5D789BB01
, 5D789BB04
, 5D789EC14
, 5D789EC45
, 5D789EC47
, 5D789FA05
, 5D789FA08
, 5D789JA51
, 5D789JA57
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