特許
J-GLOBAL ID：200903054537472926
基板処理装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
下出 隆史 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-367105
公開番号（公開出願番号）：特開平11-186366
出願日： 1997年12月24日
公開日（公表日）： 1999年07月09日
要約：
【要約】【課題】 基板処理装置において枚葉処理を容易に設定し、実行することのできる技術を提供することを目的とする。【解決手段】 基板処理装置は、前記基板収納カセットの各スロット内に基板が収納されているか否かを検出する検出手段と、前記基板収納カセットに収納されていることが検出された各基板に関して、複数の処理ユニットに順次搬送してゆく順序を示す搬送順序情報と、各処理ユニットにおける処理条件を示すユニット処理情報をと含む枚葉処理レシピを設定する処理レシピ設定手段とを備える。この枚葉処理レシピに従って、前記基板収納カセットに収納されていることが検出された各基板の処理が実行される。
請求項（抜粋）：
基板収納カセットの複数のスロットに収納された基板の処理を行うための基板処理装置であって、基板を処理するための複数の処理ユニットと、前記基板収納カセットの各スロット内に基板が収納されているか否かを検出する検出手段と、前記基板収納カセットに収納されていることが検出された各基板に関して、複数の処理ユニットに順次搬送してゆく順序を示す搬送順序情報と、各処理ユニットにおける処理条件を示すユニット処理情報とを含む枚葉処理レシピを設定する処理レシピ設定手段と、前記枚葉処理レシピに従って、前記基板収納カセットに収納されていることが検出された各基板の処理を実行する制御手段と、を備えることを特徴とする基板処理装置。
IPC (3件)：
H01L 21/68
, B65G 49/07
, H01L 21/02
H01L 21/68 A
, B65G 49/07 L
, H01L 21/02 Z
