特許
J-GLOBAL ID:200903054541450929

差圧伝送器

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 小川 勝男
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平5-251379
公開番号(公開出願番号):特開平6-194247
出願日: 1993年10月07日
公開日(公表日): 1994年07月15日
要約:
【要約】【目的】本発明は差圧伝送器に関し、センターダイアフラムの零点変化を押さえた差圧伝送器に関する。【構成】測定流体受圧は単一部品からなる圧力受圧部材のシールダイアフラム取付け穴部と栓で形成され、シールダイアフラムは圧力受圧部の両端に平行に取り付けるセンターダイアフラムとセンサ部組はシールダイアフラムと直角方向に設け、第一の受圧室と隔離室,半導体センサは導通路により連通している。同様に第二の受圧室と第二の隔離室,半導体センサも導通路により連通している。【効果】プロセスの静圧が変化した場合でも、その歪がセンターダイアフラムに伝わらないので零点変化がなく高精度に測定することができる。
請求項(抜粋):
第一のダイアフラムによって形成され、かつ第一の検出流体が封入された第一の受圧室と、第二のダイアフラムによって形成され、かつ第二の検出流体が封入された第二の受圧室とを備え、前記第一のダイアフラムに第一の測定流体の圧力、前記第二のダイアフラムに第二の測定流体の圧力を印加して両圧力の差を差圧検出センサで検出する差圧伝送器において、前記第一の受圧室に導通する第一の隔離室と、前記第二の受圧室に導通する第二の隔離室とを、前記第一,第二のダイアフラムと異なる方向に配置された第三のダイアフラムで構成し、前記第一,第二の隔離室に導通する前記第一,第二の検出流体を前記差圧検出センサに印加することを特徴とする差圧伝送器。
IPC (3件):
G01L 13/02 101 ,  G01L 19/02 ,  G01L 19/06
引用特許:
審査官引用 (1件)
  • 特開平1-295129

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