特許
J-GLOBAL ID:200903054541757234
表面形状認識センサ装置
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
山川 政樹
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2001-162981
公開番号(公開出願番号):特開2002-062106
出願日: 2001年05月30日
公開日(公表日): 2002年02月28日
要約:
【要約】【課題】 従来よりも歩留まりのよい表面形状認識センサ装置を得る。【解決手段】 各センサセル11のセンサ回路2ごとにキャリブレーション回路3を設け、それぞれのセンサ回路2からの出力信号2Aに基づきキャリブレーション回路3を制御することにより、対応するセンサ回路2の出力レベルを補正する。これにより、プロセスのばらつきなどに起因する各センサ回路2の検出感度のばらつきを抑制する。
請求項(抜粋):
互いに隣接した多数の検出素子と、各検出素子に接続された多数のセンサ回路と、各センサ回路の出力信号レベルを補正する出力信号レベル補正回路とを備え、前記出力信号レベル補正回路は、前記各センサ回路に接続されたキャリブレーション回路と、前記センサ回路の出力とキャリブレーション用基準信号とを比較して前記キャリブレーション回路にその差出力を制御信号として出力する比較回路とを有し、前記キャリブレーション回路は、前記制御信号に基づき前記センサ回路の出力とキャリブレーション用基準信号との差がなくなるようにセンサ回路の出力信号レベルを補正することを特徴とする表面形状認識センサ装置。
IPC (5件):
G01B 7/28
, A61B 5/117
, G01B 7/34
, G06T 1/00 400
, G06T 1/00 460
FI (5件):
G01B 7/28 Z
, G01B 7/34 Z
, G06T 1/00 400 G
, G06T 1/00 460 B
, A61B 5/10 322
Fターム (17件):
2F063AA43
, 2F063BA29
, 2F063DA02
, 2F063DA05
, 2F063DD07
, 2F063HA04
, 4C038FF01
, 4C038FG00
, 5B047AA25
, 5B047AB02
, 5B047BA02
, 5B047BB04
, 5B047BC14
, 5B047BC23
, 5B047DA01
, 5B047DB01
, 5B047DC06
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