透明物質を検査するための方法と装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：川口義雄 (外2名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-509708
公開番号（公開出願番号）：特表平8-502361
出願日： 1993年10月13日
公開日（公表日）： 1996年03月12日
要約：

【要約】検査しようとする透明物質(2)の厚さ内に含まれる欠陥(5)を検出し位置決定するための、本発明による検査方法は、透明性によって物質(2)を透過して見えるようにカメラ(4)から見て物質(2)の背後に置かれたカメラ(4)の視野をカバーし、かつコントラスト基準の役目をする明るい背景(7)を均一に照明することと、物質(2)の内部に含まれた欠陥(5)と物質(2)の表面に付着した寄生要素(11)とを区別するために、物質(2)の表面を側面から照明することと、物質(2)の表面に対して垂直に置かれたカメラ(4)で透かして見ることと、一連のコントラストを付けた画像が物質(2)の厚さを再現していることと、物質(2)の厚さ内に含まれる欠陥(5)を検出して位置を決定するために、物質の厚さのなかで見られる物質(2)を表す連続画面によって得られた情報を処理することとから成る。

請求項（抜粋）：

少なくとも1つの光源を用いた照明と少なくとも1つのカメラ(4)とによって物質(2)の厚さを観測することによって、透明物質(2)を検査する方法であって、透明性によって物質(2)が透過して見えるようにカメラ(4)から見て物質(2)の背後に置かれたカメラ(4)の視野をカバーし、かつコントラスト基準の役目をする明るい背景(7)を均一に照明することと、物質(2)の内部に含まれた欠陥と物質の表面に付着した寄生要素(11)とを区別するために、物質(2)の表面を側面から照明することと、物質(2)の表面に対して垂直に置かれたカメラで透かして見ることと、一連のコントラストを付けた画像が物質(2)の厚さを再現していることと、物質(2)の厚さ内に含まれる欠陥(5)を検出して位置を決定するために、物質の厚さのなかで見られる物質(2)を表す連続画面によって得られた情報を処理することとを含むことを特徴とする透明物質の検査方法。

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