特許
J-GLOBAL ID：200903054542402227
表面処理装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小林 傅
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-281373
公開番号（公開出願番号）：特開平5-121394
出願日： 1991年10月28日
公開日（公表日）： 1993年05月18日
要約：
【要約】【目的】 縦型炉のスカベンジャやマニホルド等の開口部ユニットの過冷却に起因するガスの固化や液化を防止し、製品を汚損する恐れのあるパーティクルの生成を防いで製品歩留りを向上することができ、また不足冷却を防止してシールリング等の焼損を防止することができる表面処理装置を提供することを目的とする。【構成】 ヒータ12を備える縦型の炉体10、この炉体内に挿入された反応管130、被処理物の搬入・搬出口を区画して上記反応管を支持するとともに冷却流体で冷却される開口部ユニット140、140Aに嵌着され上記反応管内を炉外部に対して密封するシール部材18を備え、ガス供給管15を通して上記反応管内に反応ガスを供給される表面処理装置において、上記開口部ユニット140の温度を測定する温度計30、循環する上記冷却流体の温度を調節する温度調節器33を備え、この温度調節器33は上記温度計が計測した値を温度設定値と比較して両値の偏差がなくなるように上記冷却流体の温度を調節することを特徴とする。
請求項（抜粋）：
ヒータを備える縦型の炉体、この炉体内に挿入された反応管、被処理物の搬入・搬出口を区画して上記反応管を支持するとともに冷却流体で冷却される開口部ユニットに嵌着され上記反応管内を炉外部に対して密封するシール部材を備え、ガス供給管を通して上記反応管内に反応ガスを供給される表面処理装置において、上記開口部ユニットの温度を測定する温度計、循環する上記冷却流体の温度を調節する温度調節器を備え、この温度調節器は上記温度計が計測した値を温度設定値と比較して両値の偏差がなくなるように上記冷却流体の温度を調節することを特徴とする表面処理装置。
IPC (3件)：
H01L 21/31
, H01L 21/205
, H01L 21/22
