特許

J-GLOBAL ID：200903054546944849

ピラニア洗浄工程における薬液濃度管理方法

発明者： 関口 淳
出願人/特許権者： リソテック ジャパン株式会社
代理人 (1件)： 千田 稔 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-230702
公開番号（公開出願番号）：特開平9-064005
出願日： 1995年08月17日
公開日（公表日）： 1997年03月07日
要約：

【要約】【課題】 カロ酸濃度を全自動で測定し、濃度を一定に保つ為の必要な薬剤の添加、交換を全自動でおこなうための方法および装置の提供。【解決手段】 ピラニア洗浄工程において、薬液中のカロ酸濃度を分光透過率、または分光吸光度測定により自動測定し、その結果に基づき、過酸化水素水を自動補充し、または薬液の一部もしくは全部を自動的に交換し、カロ酸濃度を所定範囲内に保持する薬液濃度管理方法。

請求項（抜粋）：

ピラニア洗浄工程において、薬液中のカロ酸濃度を分光透過率、または分光吸光度測定により自動測定し、その結果に基づき、過酸化水素水を自動補充し、または薬液の一部もしくは全部を自動的に交換し、カロ酸濃度を所定範囲内に保持する薬液濃度管理方法。

IPC (4件)：

H01L 21/304 341 ,  H01L 21/304 ,  H01L 21/027 ,  H01L 21/308

FI (4件)：

H01L 21/304 341 S ,  H01L 21/304 341 L ,  H01L 21/308 G ,  H01L 21/30 572 B