特許
J-GLOBAL ID:200903054548355611

X線吸収微細構造分析方法およびその装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 山本 寿武
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平7-307345
公開番号(公開出願番号):特開平9-145640
出願日: 1995年11月27日
公開日(公表日): 1997年06月06日
要約:
【要約】【課題】 一枚の平板結晶によってX線のエネルギ領域を広範囲にカバーできるようにして、測定作業の容易化を図る。【解決手段】 放射状に広がるX線aを所定の角度範囲で結晶平板1に照射することにより、その照射角度に対応してエネルギが連続的に変化する回折X線bを該結晶平板1から出力させ、この回折X線bの強度を検出するとともに、平板結晶1から出力してきた回折X線bを試料Sに照射したとき該試料Sを透過するX線cの強度を検出し、これらの検出結果に基づいて試料SのX線吸収微細構造を分析する。平板結晶1から出力される回折X線bのエネルギ領域を変えたい場合には、平板結晶1をX線の照射面と直交する軸oを中心に任意の角度回転させる。
請求項(抜粋):
放射状に広がるX線を所定の角度範囲で結晶平板に照射することにより、その照射角度に対応してエネルギが連続的に変化する回折X線を該結晶平板から出力させ、この回折X線の強度を検出するとともに、前記X線乃至回折X線の光路上に試料を配置して該試料を透過したX線の強度を前記結晶平板の後段側で検出し、これらの検出結果に基づいて試料のX線吸収微細構造を分析する方法において、前記平板結晶を、X線の照射面と直交する軸を中心に任意の角度回転させることにより、出力する回折X線のエネルギ領域を可変させるようにしたことを特徴とするX線吸収微細構造分析方法。
IPC (2件):
G01N 23/08 ,  G01N 23/06
FI (2件):
G01N 23/08 ,  G01N 23/06

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