特許
J-GLOBAL ID：200903054550293224
微細金属球の製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
田村 弘明 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-115015
公開番号（公開出願番号）：特開平8-311508
出願日： 1995年05月12日
公開日（公表日）： 1996年11月26日
要約：
【要約】【目的】 微細金属球を精度高く、効率的に製造する方法を提供する。【構成】 予めワイヤを展延性のあるテープに粘着させてからワイヤを所定の寸法にカットし、しかる後にこのテープを展伸させることによってカットされたワイヤ同士を引き離しておき、これを粘着膜を介して耐熱性のある基板に転写して当該金属の溶融温度以上に加熱して溶融した金属の表面張力の作用で球状にする。しかる後に粘着膜を溶解、洗浄して金属球を回収することで所望の大きさの微細金属球を精度よく製造する。カットされたワイヤが粘着されている展延性のテープを展伸させる方向をワイヤの長手方向と同一、および20度以上50度未満の角度を持つ方向に展伸すること。【効果】 寸法精度の高い微細な金属球を効率よく、大量に製造することができる。
請求項（抜粋）：
所定の寸法にカットした金属ワイヤを加熱溶融することによって微細な金属球を製造する方法において、予めワイヤを展延性のあるテープに粘着させてからワイヤを所定の寸法にカットし、このテープを展伸させることによってカットされたワイヤ同士を引き離し、さらに、このワイヤ片を水あるいは溶剤に溶け易い粘着膜を介して耐熱性のある材料でできた基板の面に転写して、加熱溶融し、しかる後に水、あるいは溶剤で粘着層を溶解、除去することによって金属球を基板から離すことを特徴とする微細金属球の製造方法。
IPC (5件)：
B22F 9/06
, B23K 3/06
, B23K 35/40 340
, H01L 21/60 301
, H01L 21/321
B22F 9/06
, B23K 3/06 H
, B23K 35/40 340 F
, H01L 21/60 301 H
, H01L 21/92 604 H
