特許

J-GLOBAL ID：200903054554173258

オゾンを溶解した超純水の供給装置

発明者： 森田 博志 ,  水庭 哲夫 ,  井田 純一
出願人/特許権者： 栗田工業株式会社
代理人 (1件)： 内山 充
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-306989
公開番号（公開出願番号）：特開平11-138182
出願日： 1997年11月10日
公開日（公表日）： 1999年05月25日
要約：

【要約】【課題】オゾンを溶解した超純水を、所定の濃度で必要な量だけユースポイントに安定して供給することができるオゾンを溶解した超純水の供給装置を提供する。【解決手段】(A)ユースポイントで使用されなかったオゾン溶解超純水と補給される超純水を保持する貯槽、(B)貯槽にオゾン含有ガスを吹き込む装置、(C)貯槽に補給される超純水の量に応じて吹き込むオゾン含有ガスの量を制御する第1の制御機構、(D)貯槽からオゾン溶解超純水を流出させる送水ポンプ、(E)貯槽からの流出水にオゾン含有ガスを接触させるオゾン溶解装置、(F)貯槽からの流出水の量と溶解オゾン濃度に応じて、オゾン溶解装置に供給するオゾン含有ガスの量を制御する第2の制御機構、及び(G)オゾン溶解装置からの流出水をユースポイントに送給し、ユースポイントで使用されなかった余剰のオゾン溶解超純水を貯槽に返送する配管を有することを特徴とするオゾンを溶解した超純水の供給装置。

請求項（抜粋）：

(A)ユースポイントで使用されなかった余剰のオゾンを溶解した超純水と補給される超純水の混合水を保持する密閉式の貯槽、(B)貯槽にオゾン発生器から供給されるオゾン含有ガスを吹き込むオゾン含有ガス吹き込み装置、(C)貯槽に補給される超純水の量に応じて吹き込むオゾン含有ガスの量を制御する第1の制御機構、(D)貯槽からオゾンを溶解した超純水を流出させる送水ポンプ、(E)貯槽からの流出水にオゾン発生器から供給されるオゾン含有ガスを接触させて水中にオゾンを溶解させるオゾン溶解装置、(F)貯槽からの流出水の量と溶解オゾン濃度に応じて、オゾン溶解装置に供給するオゾン含有ガスの量を制御する第2の制御機構、及び(G)オゾン溶解装置からの流出水をユースポイントに送給し、ユースポイントで使用されなかった余剰のオゾンを溶解した超純水を貯槽に返送する配管を有することを特徴とするオゾンを溶解した超純水の供給装置。

IPC (2件)：

C02F 1/78 ,  H01L 21/304 341

FI (2件)：

C02F 1/78 ,  H01L 21/304 341 Z