発光体の製造方法及び発光体並びに表示装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：根本恵司 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-035315
公開番号（公開出願番号）：特開2002-241929
出願日： 2001年02月13日
公開日（公表日）： 2002年08月28日
要約：

【要約】【課題】ナノ構造結晶を有する発光体の製造方法を提供し、併せてこの方法により作成した発光体並びにこの発光体を有する表示装置を提供する。【解決手段】発光母体と付活剤(発光センター)から構成されたターゲット材8をガス雰囲気の真空室5に配置する。該真空室5の内部にガラス基板9を配置し、前記ターゲット材8にレーザー光1を照射してターゲット材の構成物質をアブレーションする。アブレーションしたターゲット材8の構成物質を真空々間内で会合させ、会合したターゲット材8の構成物質の超微粒子をガラス基板9に堆積させ、ナノ構造結晶の発光体を製造する。発光母体として硫化亜鉛又は、窒化ガリウム又は、燐化ガリウム又は、燐化インジウム、付活剤としてテルビウム、ユーロピウム等を使用する。

請求項（抜粋）：

発光母体と付活剤から構成されたターゲット材をガス雰囲気の真空室に配置する工程と、該真空室の内部に基板を配置する工程と、前記ターゲット材にレーザー光を照射してターゲット材構成物質を溶融、蒸発させるアブレーション工程と、該前記アブレーション工程で溶融、蒸発したターゲット材構成物質を真空々間内で会合させる工程と、該工程で会合したターゲット材構成物質の超微粒子を前記基板に堆積させる工程とを有することを特徴とする発光体の製造方法。

IPC (7件)：

C23C 14/28 , C09K 11/56 CPC , C09K 11/62 CQF , G09F 9/00 338 , H01J 11/02 , H01J 29/20 , H01L 21/363

FI (7件)：

C23C 14/28 , C09K 11/56 CPC , C09K 11/62 CQF , G09F 9/00 338 , H01J 11/02 B , H01J 29/20 , H01L 21/363

Fターム (44件)：

4H001XA07 , 4H001XA15 , 4H001XA16 , 4H001XA30 , 4H001XA31 , 4H001XA49 , 4H001YA13 , 4H001YA17 , 4H001YA25 , 4H001YA29 , 4H001YA47 , 4H001YA63 , 4H001YA65 , 4K029AA09 , 4K029BA51 , 4K029BA58 , 4K029BD00 , 4K029CA01 , 4K029DB20 , 5C040GG08 , 5F103AA10 , 5F103BB23 , 5F103BB27 , 5F103DD01 , 5F103DD07 , 5F103DD11 , 5F103DD30 , 5F103GG02 , 5F103GG10 , 5F103HH04 , 5F103KK10 , 5F103LL01 , 5F103NN04 , 5F103NN05 , 5F103RR10 , 5G435AA03 , 5G435AA04 , 5G435AA17 , 5G435BB02 , 5G435BB04 , 5G435BB05 , 5G435BB06 , 5G435FF11 , 5G435KK05

引用特許：

審査官引用 (1件)

特開昭61-034890

引用文献：

審査官引用 (1件)

エキシマレ-ザアブレ-ションにより作製したZnS:Mn微粒子蛍光体

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