特許
J-GLOBAL ID：200903054557157300

レンズアレイ及び固体撮像素子の製造方法

発明者：
小川 和明

小川 和明 について


出願人/特許権者：
ソニー株式会社

ソニー株式会社 について


代理人 (1件)： 野田 茂
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-227487
公開番号（公開出願番号）：特開2008-052004
出願日： 2006年08月24日
公開日（公表日）： 2008年03月06日
要約：
【課題】隣接レンズ間のギャップ(非レンズ部分)をできるだけ縮小し、かつ、2次元方向から見て均一な曲率形状を有するレンズアレイを提供する。【解決手段】 レンズアレイを形成するための透明樹脂(レンズ材)による平坦な下地膜上にフォトレジストを塗布し、これを円形の凸平面20Bで構成されるレジストパターン20にパターニングする。そして、このレジストパターンに熱溶融(リフロー)処理を施すことにより、円形の凸平面20Bを球面レンズ状に変形させる。この後、隣接するレンズの間隔を縮小させる条件で全面エッチバック処理を行い、レジストパターンを下地のレンズ材に転写し、ギャップを縮小したレンズアレイ22Aを形成する。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
レンズ材による下地膜を形成する下地膜形成工程と、 前記下地膜上に複数の円形または近似円形の凸平面で構成されるレジストパターンを形成するレジストパターニング工程と、 前記レジストパターンに熱溶融処理を施すことにより、前記円形または近似円形の凸平面を球面レンズ状に変形させるリフロー工程と、 前記球面レンズ状に変形させたレジストパターンを下地膜に転写するエッチバック工程とを有し、 前記エッチバック工程では、隣接する球面レンズ間のギャップを縮小させる条件でエッチバックを行う、 ことを特徴とするレンズアレイの製造方法。
IPC (3件)：
G02B 3/00 ,  H01L 27/14 ,  H04N 5/335
FI (4件)：
G02B3/00 A ,  G02B3/00 Z ,  H01L27/14 D ,  H04N5/335 V
Fターム (17件)：
4M118AB01 ,  4M118BA10 ,  4M118BA14 ,  4M118CA02 ,  4M118CA03 ,  4M118CA32 ,  4M118FA06 ,  4M118FA25 ,  4M118FA35 ,  4M118GB08 ,  4M118GB11 ,  4M118GC07 ,  4M118GD04 ,  4M118GD07 ,  5C024CX41 ,  5C024CY47 ,  5C024EX43
引用特許：
出願人引用 (2件)
  • レンズアレイ
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-205966   出願人：松下電器産業株式会社
  • レンズアレイ
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-011128   出願人：松下電器産業株式会社

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