特許
J-GLOBAL ID：200903054558107390
X線源
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
青山 葆 (外1名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-524399
公開番号（公開出願番号）：特表平11-504750
出願日： 1996年01月31日
公開日（公表日）： 1999年04月27日
要約：
【要約】本発明のX線源は、荷電粒子ビーム発生器(112)と真空外囲器(176)からなる。上記荷電粒子発生器は、電子銃に高電圧を供給するための単一の電気的接続(803)のみを有する。発生された荷電粒子ビームは、一連の動的および静的集束コイル(187,185)によって制御され、X,Y偏向コイル(190)およびXステップコイルとYステップコイル(188)からなるステッピングコイルアセンブリによって、ターゲット(50)の内面を横切るように動かされる。
請求項（抜粋）：
荷電粒子ビーム発生器と真空外囲器を備えたX線源において、 上記荷電粒子ビーム発生器は、外側ケーシングと高電圧端子と電子銃からなり、 上記高電圧端子は、上記電子銃に電力を供給する電子構成部材を備え、 上記真空外囲器は、外側ケーシングと、陽極と、上記荷電粒子ビーム発生器で発生された電子ビームを集束するための荷電粒子ビーム集束手段と、上記電子ビームを偏向させるための荷電粒子ビーム偏向手段と、ターゲットとを備え、上記陽極およびターゲットは、接地電位で操作され、 上記荷電粒子ビーム偏向手段は、急速偏向ヨークと緩慢偏向ヨークとを備え、上記緩慢偏向ヨークは、x偏向コイルとy偏向コイルとを有し、 上記急速偏向ヨークは、xステップ偏向コイルを備え、このxステップ偏向コイルは、上記x偏向コイルおよびy偏向コイルよりも低いインダクタンスを有するとともに、上記電子ビームを上記ターゲットにおいてx軸に沿ってステップパターンで偏向させるために用いられることを特徴とするX線源。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H05G 1/52 B
, H05G 1/00 E
