特許
J-GLOBAL ID：200903054559264421
精密両面露光装置および露光方法ならびに透光板の固定方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
磯野 道造
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-117476
公開番号（公開出願番号）：特開平8-314158
出願日： 1995年05月16日
公開日（公表日）： 1996年11月29日
要約：
【要約】 (修正有)【目的】ワークに所定パターンを形成する精密両面露光装置および露光方法ならびに透光板の固定方法を提供する。【構成】光源装置2と、光学系3と、透光板4と、透光板4の保持手段5を有する上下フレーム8,9と、透光板4とワークWのメイン真空吸着機構18と、上フレーム8の作動手段10と、下フレーム9を水平方向の所定位置に移動させる位置決め手段16と、位置決め手段16などを載置する枠状の載置テーブルとを備え、保持手段5は、透光板4を真空吸着する吸着機構と、吸着機構で上下フレーム8,9に真空吸着した上下透光板の少なくとも一方を固定する固定機構7とからなり、固定機構7は、透光板4の各辺の対面する位置でフレーム8,9に設けられ、透光板4の側端面に当接して固定する精密両面露光装置1。
請求項（抜粋）：
ワークの両面を露光する露光装置であって、紫外線を含む光線を照射する光源装置と、前記光源装置からの光線をワークに平行光として照射する平面反射鏡やフライアイレンズなどの光学系と、前記ワークを挟持する所定パターンが形成された上下透光板と、前記透光板を着脱自在に保持手段を介してそれぞれ保持する枠状の上下フレームと、前記透光板に挟持したワークを真空密着させるメイン真空吸着機構と、前記上フレームを上下に作動させる作動手段と、前記下フレームを水平方向の所定位置に移動させる位置決め手段と、前記位置決め手段などを載置支持する枠状の載置テーブルとを備え、前記保持手段は、透光板を真空吸着する吸着機構と、前記吸着機構で上下フレームに真空吸着した上下透光板の少なくとも一方を固定する固定機構とからなり、前記固定機構は、透光板の各辺の対面する位置で前記フレームに設けられ、前記透光板の側端面に当接してその透光板を固定することを特徴とする精密両面露光装置。
IPC (3件)：
G03F 9/00
, G03F 7/20
, H05K 3/00
G03F 9/00 Z
, G03F 9/00 A
, G03F 7/20
, H05K 3/00 G
, H05K 3/00 H
