スタンパー修復方法およびスタンパー製造方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：酒井伸司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-183669
公開番号（公開出願番号）：特開2008-012705
出願日： 2006年07月03日
公開日（公表日）： 2008年01月24日
要約：

【課題】高精度な凹凸パターンを有するスタンパーを大量に製造し得るスタンパー修復方法を提供する。【解決手段】マザースタンパー1における凹凸パターン5の形成面に導電性薄膜を形成する薄膜形成処理と、形成面に剥離層12を形成する剥離層形成処理とをこの順で実行しててマザースタンパー1を修復する。この場合、上記の剥離層形成処理として、導電性薄膜の表面を改質する改質処理を実行して剥離層12を形成する、または、導電性薄膜の上に剥離層形成用材料からなる層を剥離層12として形成する。また、マザースタンパー1における凹凸パターン5の形成面に剥離層形成用材料からなりマザースタンパー1の減耗分の厚みの剥離層を形成する剥離層形成処理を実行してマザースタンパー1を修復する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

スタンパーにおける凹凸パターンの形成面に導電性薄膜を形成する薄膜形成処理と、当該形成面に剥離層を形成する剥離層形成処理とをこの順で実行して前記スタンパーを修復するスタンパー修復方法。

IPC (5件)：

B29C 33/38 , G11B 7/26 , G11B 5/84 , H01L 21/027 , B29C 59/02

FI (5件)：

B29C33/38 , G11B7/26 511 , G11B5/84 Z , H01L21/30 502D , B29C59/02 B

Fターム (38件)：

4F202AF01 , 4F202AG05 , 4F202AG19 , 4F202AH38 , 4F202AH79 , 4F202AJ02 , 4F202CA30 , 4F202CB01 , 4F202CB29 , 4F202CD02 , 4F202CD05 , 4F202CD12 , 4F202CD23 , 4F209AA44 , 4F209AC05 , 4F209AF01 , 4F209AG05 , 4F209AJ02 , 4F209AJ09 , 4F209PA02 , 4F209PB01 , 4F209PC01 , 4F209PC05 , 4F209PN09 , 5D112AA02 , 5D112AA05 , 5D112AA24 , 5D112BA10 , 5D112GA00 , 5D112GA19 , 5D112GA22 , 5D121CA03 , 5D121CB03 , 5D121CB06 , 5D121CB08 , 5D121EE01 , 5D121GG03 , 5F046AA28

引用特許：

出願人引用 (1件)

光ディスク用スタンパの複製方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-255049 出願人：株式会社クラレ

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