特許
J-GLOBAL ID：200903054565087248
光導波路デバイス、進行波形光変調器および光導波路デバイスの製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
杉村 暁秀 (外9名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-085579
公開番号（公開出願番号）：特開平10-133159
出願日： 1997年03月21日
公開日（公表日）： 1998年05月22日
要約：
【要約】【課題】基板と、基板の一方の主面側に形成されている光導波路と、電極部分とを備えている光導波路デバイスにおいて、その動作速度を向上させること【解決手段】光導波路デバイス8は、相対向する一対の主面1a、1bを備えている基板1と、基板1の一方の主面1a側に形成されている光導波路2と、電極部分3、4とを備えている。少なくとも電極部分3、4の位置において、基板1に、厚さが相対的に小さい薄肉部分12が設けられている。好ましくは、肉薄部分12の厚さが5μm以上、50μm以下であり、肉薄部分12以外の基板1の厚さが150μm以上である。基板1の他方の主面1b側からアブレーション加工や研削加工を施すことによって、肉薄部分12を形成できる。
請求項（抜粋）：
相対向する一対の主面を備えている基板と、この基板の一方の主面側に形成されている光導波路と、電極部分とを備えている光導波路デバイスであって、少なくとも前記電極部分の位置において前記基板に厚さが相対的に小さい薄肉部分が設けられていることを特徴とする、光導波路デバイス。
IPC (3件)：
G02F 1/035
, G02B 6/12
, G02B 6/13
G02F 1/035
, G02B 6/12 J
, G02B 6/12 M
