特許

J-GLOBAL ID：200903054567052000

石英系光導波路およびその製造方法

発明者： 竹内 哲也
出願人/特許権者： 東海ゴム工業株式会社
代理人 (1件)： 大家 邦久 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-323606
公開番号（公開出願番号）：特開平6-148446
出願日： 1992年11月09日
公開日（公表日）： 1994年05月27日
要約：

【要約】【構成】 SiO2 の真空蒸着条件を変えて基板上に形成した、屈折率の異なる2種類のSiO2 をコア層およびクラッド層とする石英系光導波路、及びSiO2 の真空蒸着条件を一定としてSiO2 膜を基板上に堆積し所定の屈折率を有するクラッド層を形成した後、その上に真空蒸着条件を変えて前記クラッド層より屈折率の大きいSiO2 のコア層を堆積し、この層を所望のパターンにエッチングした後、その上部に前記クラッド層の形成時と同一の条件でSiO2 膜を堆積しクラッド層を形成することを特徴とする石英系光導波路の製造方法。【効果】 真空蒸着条件を変えるのみで屈折率の異なる層が形成でき、簡略な製造設備で、工業的に有利に石英系光導波路を製造できる。

請求項（抜粋）：

SiO2 の真空蒸着条件を変えて基板上に形成した、異なる屈折率を有する2種類のSiO2 をコア層およびクラッド層としてなることを特徴とする石英系光導波路。