特許

J-GLOBAL ID：200903054568138625

酸化珪素の沈着物の形成方法及びこれに使用する装置

発明者： スルーマン,フランク ,  ブーアル,パスカル ,  クーレ,フランソワ ,  ジユーヴアウ,ドミニイク ,  プリンツ,エツクハルト
出願人/特許権者： ル・エール・リクイツド・ソシエテ・アノニム・プール・ル・エチユド・エ・ル・エクスプルワテシヨン・デ・プロセデ・ジエオルジエ・クロード ,  ソフタル・エレクトロニツク・ゲゼルシヤフト・ミツト・ベシユレンクテル・ハフツング
代理人 (1件)： 八木田 茂 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-093434
公開番号（公開出願番号）：特開平7-126006
出願日： 1994年05月02日
公開日（公表日）： 1995年05月16日
要約：

【要約】【目的】本発明は移動している固体支持体、特に、ポリオレフィンからなる支持体上に酸化珪素を沈着させる方法及びその実施に使用する装置に関する。【構成】本発明の方法においては、支持体(2)を誘電体バリアーを使用する放電、例えば、シランと酸化性ガス、特に、NO、 N2 O 、CO2 又は O2 と中性キャリアーガス、例えば、窒素又はアルゴンとを含有する雰囲気の存在下での放電に暴露する。シランと酸化性ガスを含有する制御された雰囲気を電極に近接する帯域、即ち、放電を発生させるために使用される電極(6)の周囲に保持し、一方、処理プロセスが例えば支持体(2)が矢印(3)の方向に移動する際に、この支持体によって連行される大気中の空気によって阻害されることを防止する。

請求項（抜粋）：

移動している固体支持体上に酸化珪素の沈着物を形成させる方法であって、上記支持体を10,000Pa以上の圧力を有するかつシランを含有する雰囲気の存在下での、誘電体バリアーを使用する放電に暴露する方法において、シランと酸素又は酸素を提供することができるガスとキャリアーガスとを含有する、制御された組成を有する雰囲気を放電を発生させる帯域に循環させ、そして、前記帯域内の前記雰囲気の一部を形成する酸素以外の酸素の連行を実質的に防止する装置を使用することを特徴とする酸化珪素の沈着物の形成方法。

IPC (2件)：

C01B 33/113 ,  B01J 19/08

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 特表平5-504991