特許

J-GLOBAL ID：200903054573195246

基板温度制御装置及びそのコントローラ

発明者： 遠藤 貴義
出願人/特許権者： 株式会社小松製作所
代理人 (1件)： 上村 輝之 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-336779
公開番号（公開出願番号）：特開2000-164499
出願日： 1998年11月27日
公開日（公表日）： 2000年06月16日
要約：

【要約】【課題】 温度調節プロセスの失敗や不具合の原因解析を容易にする。【解決手段】 複数台の温度調節ステージ23A、23B、...の各々に半導体ウェハが載置され、ベーキングなどの温度調節プロセスが実行される。コントローラ31、27A、27B、...は、温度調節ステージ23A、23B、...をして温度調節プロセスを繰り返し実行せしめ、各回の温度調節プロセスにて、ステージ温度が所定の目標温度プロファイルに沿って変化するように温度調節ステージに対して操作量を与える。コントローラは、また、温度調節ステージ23A、23B、...の積算運転時間、プロセス実行回数、発生したエラー内容を示すエラーログ、失敗した温度調節プロセスにおけるステージ温度や操作量などの制御データを取得してメモリに保存し、後のユーザから要求があると、その保存情報を表示又は出力する。

請求項（抜粋）：

基板が載置され、この基板の温度を調節するための温度調節プロセスを実行する1台以上の温度調節ステージと、前記温度調節ステージの温度を検出するセンサと、前記温度調節ステージをして前記温度調節プロセスを繰り返し実行せしめ、各回の前記温度調節プロセスにて、前記センサからステージ温度を取得し、前記ステージ温度が所定の目標温度プロファイルに沿って変化するように前記温度調節ステージに対して操作量を与えるコントローラとを備え、前記コントローラが、前記温度調節プロセスでエラーが発生したか否かを判断し、発生したエラーを示すエラーログを保存する手段と、前記温度調節プロセスが成功したか失敗したかを判断し、少なくとも失敗した前記温度調節プロセスにおける前記ステージ温度と前記操作量を含む制御データを保存する手段と、前記保存された前記エラーログ及び前記制御データを表示又は出力する手段とを有する基板温度制御装置。

IPC (3件)：

H01L 21/027 ,  G05D 23/19 ,  H01L 21/324

FI (3件)：

H01L 21/30 567 ,  G05D 23/19 J ,  H01L 21/324 T

Fターム (21件)：

5F046KA04 ,  5F046KA10 ,  5H323AA40 ,  5H323BB11 ,  5H323CA06 ,  5H323CB03 ,  5H323CB23 ,  5H323CB33 ,  5H323CB44 ,  5H323DA01 ,  5H323DA04 ,  5H323EE05 ,  5H323FF03 ,  5H323JJ04 ,  5H323JJ10 ,  5H323NN06 ,  5H323QQ05 ,  5H323SS01 ,  5H323SS08 ,  5H323TT02 ,  5H323TT17