特許
J-GLOBAL ID:200903054579181921

グリッド偏光子

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 茂見 穰
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平9-329609
公開番号(公開出願番号):特開平11-142650
出願日: 1997年11月13日
公開日(公表日): 1999年05月28日
要約:
【要約】【課題】 ドライエッチングによってグリッド偏光子を製造する際に、エッチングのエンドポイント制御の問題を回避でき、反射防止膜を損傷させることなく高偏光特性を実現しうるようにする。【解決手段】 第1の光透過性基板20の一方の表面に反射防止膜22を設けるとともに他方の表面に金属グリッド24を設け、第2の光透過性基板30の一方の表面のみに反射防止膜32を設けて、それら第1及び第2の光透過性基板の各反射防止膜が外側に位置し、金属グリッドが挾み込まれるように光学接着剤により接着一体化する。両光透過性基板の材料に同一屈折率の光学ガラスを用い、金属グリッド材に金を用いるのが好ましい。
請求項(抜粋):
第1の光透過性基板の一方の表面に反射防止膜を設けるとともに他方の表面に金属グリッドを設け、第2の光透過性基板の一方の表面のみに反射防止膜を設けて、それら第1及び第2の光透過性基板の各反射防止膜が外側に位置し、金属グリッドが挾み込まれるように光学接着剤により接着一体化したグリッド偏光子。
IPC (2件):
G02B 5/30 ,  G02B 1/11
FI (2件):
G02B 5/30 ,  G02B 1/10 A

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