位置情報検出装置およびそれを用いた転写装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：伊東哲也 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-191207
公開番号（公開出願番号）：特開平5-010748
出願日： 1991年07月05日
公開日（公表日）： 1993年01月19日
要約：

【要約】【目的】被測定物体の形状精度の状態にかかわらず回転誤検知を防止してより高精度な位置情報検出を可能にする。【構成】被測定物体のX,Yの各方向の位置を互いに異なる点で検出するそれぞれ一対ずつの検出器1X,2Xと1Y,2Yとを設け、X,Yの各方向の位置情報は各方向用の検出器の少なくとも1つずつの検出出力を用いて検出するとともに、被測定物体の回転は少なくともいずれか一対の検出器の検出出力を用いて検出する。

請求項（抜粋）：

被測定物体の位置情報を検出する装置で、被測定物体上の対向する第一部所の第一の方向に沿った位置情報を検出する第一検出手段と、前記被測定物体上の対向する第二部所の前記第一の方向に沿った位置情報を検出する第二検出手段と、前記被測定物体上の対向する第三部所の、前記第一方向と交差する第二の方向に沿った位置情報を検出する第三検出手段と、前記被測定物体上で対向する第四部所の前記第二の方向に沿った位置情報を検出する第四検出手段と、前記第一ないし第四検出手段の検出に基づいて位置情報を検出する位置情報検出手段とを有し、前記位置情報検出手段は、前記第一、第二検出手段の少なくとも一方の検出に基づいて前記被測定物体の前記第一の方向に沿った位置情報を検出し、かつ前記第三、第四検出手段の少なくとも一方の検出に基づいて前記被測定物体の前記第二の方向に沿った位置情報を検出するとともに、少なくとも前記第一および第二検出手段または前記第三および第四検出手段の検出に基づいて前記被測定物体の回転情報の検出を行なうことを特徴とする位置情報検出装置。

IPC (6件)：

G01B 21/00 , G01B 11/26 , G03F 9/00 , G05D 3/12 , G12B 5/00 , H01L 21/027

引用特許：

審査官引用 (3件)

特開平3-235016
特開昭63-140311
特開昭63-140311

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