特許
J-GLOBAL ID：200903054587981198
ラミノグラフ
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
三好 秀和 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-188297
公開番号（公開出願番号）：特開平8-055887
出願日： 1994年08月10日
公開日（公表日）： 1996年02月27日
要約：
【要約】【目的】 被検体の所望の面にピントを適確に合わせることができるラミノグラフを提供する。【構成】 X線管11と検出器13との間で被検体である基板14に異なった配置を順次取らせながら、基板14を透過したX線管11からのX線を検出器13で検出して基板14を走査し、この走査の間に検出器13の出力をデータ収集装置20で順次収集し、透過方向の異なる被検体の複数の透過画像を収集し、この収集した複数の透過画像を画像処理装置21において互いにずらしながら加算平均して、基板14の1つの焦点面に焦点の合った透過画像を作成するとともに、距離測定装置23によって基板14の表面14aである焦点面の位置を測定し、この測定した焦点面の位置に基づいて前記ずらしの量を算出している。
請求項（抜粋）：
被検体に向けて放射線を発生する放射線源と、該放射線源に対向して設けられ、被検体を透過した前記放射線源からの放射線を2次元の分解能をもって検出する放射線面センサと、前記放射線源と前記放射線面センサとの間で被検体に異なった配置を順次取らせ、この異なった各配置の被検体を前記放射線源からの放射線で走査する走査手段と、該走査手段による走査の間に前記放射線面センサの出力を順次収集し、透過方向の異なる被検体の複数の透過画像を得るデータ収集手段と、被検体の1つの焦点面に焦点の合った透過画像を作成すべく前記データ収集手段で収集した前記複数の透過画像を互いにずらしながら加算平均する画像処理手段と、被検体の前記焦点面の位置を測定する位置測定手段と、該位置測定手段で測定した前記焦点面の位置に基づいて前記画像処理手段における前記ずらしの量を算出するずらし量算出手段とを有することを特徴とするラミノグラフ。
IPC (6件)：
H01L 21/66
, G01B 15/00
, G01T 1/29
, G03C 5/00
, H05K 3/00
, H05K 3/46
