特許
J-GLOBAL ID：200903054591454798
ICのハンドリング装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
京本 直樹 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-154870
公開番号（公開出願番号）：特開平5-347342
出願日： 1992年06月15日
公開日（公表日）： 1993年12月27日
要約：
【要約】【目的】1つの搬送系により電気的特性測定部へのICの供給と測定部からのICの収納とを並列に行うようにすることによってインデックス時間の短縮と測定処理能力の向上を図る。【構成】供給部1内のIC2を回転アームの先端に取り付けた搬送部9のチャック部で保持し、特性測定部5まで回転搬送しIC2の電気的特性の測定を行う。この時、反対側の搬送部9では、次のIC2を保持している。測定の完了後、良品の場合は90°右回転,不良品の場合は90°左回転し、IC2をそれぞれ良品収納部3,不良品収納部4に収納する。収納後さらに90°回転することで次のIC2を特性測定部5に移動する。
請求項（抜粋）：
組立てられたICの電気的特性を測定するICのハンドリング装置において、同等の機能を有する少なくとも2つ以上のIC搬送部をそれぞれ回転アームの先端に取り付け、前記搬送部が回転運動を行うことにより一搬送部でのICの電気的特性の測定と並列して他の搬送部ではICの供給,収納及び分類を行うことを特徴とするICのハンドリング装置。
IPC (3件)：
H01L 21/66
, G01R 31/26
, H01L 21/68
