特許

J-GLOBAL ID：200903054596581682

気体化合物の貯蔵と送出のシステム

発明者： トム.グレン.エム ,  マクマナス.ジェームス.ヴィ
出願人/特許権者： アドバンスド.テクノロジー.マテリアルス.インコーポレイテッド
代理人 (1件)： 押田 良久
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-513365
公開番号（公開出願番号）：特表平10-503268
出願日： 1995年10月13日
公開日（公表日）： 1998年03月24日
要約：

【要約】気体、例えば水素化物およびハロゲン化物気体と、有機金属族Vの化合物の吸着-脱離装置(102)と貯蔵ならびに計量配分の方法であって、収着済み気体の収着媒体材料からの差圧脱離により選択的に計量配分するものである。前記収着材料は、前記装置(102)内の収着済み気体を効果的に分解させる微量成分、例えば水、金属および酸化物よりなる遷移金属種の濃度を失わせる材料が好ましい。

請求項（抜粋）：

気体の貯蔵と送出用の吸着・脱離装置であって、 ・貯蔵と計量分配容器で固相物理的収着媒体を保持し、また気体を前記容器に流出入させるために構成・配置した容器と; ・前記貯蔵と計量分配容器に内部気体圧力で配置した固相物理的収着媒体と; ・前記固相物理的収着媒体上に物理的に吸着された収着済み気体と; ・前記貯蔵と計量分配用容器と気体流れ連通して連結し、また前記貯蔵と計量分配容器の外部で、前記内部圧力以下の圧力を供給して収着済み気体の前記固相物理的収着媒体からの脱離と、前記脱離済み気体を通過させる気体流れを達成させるため構成・配置した計量分配アセンブリーと;からなり、 ・前記固相物理的収着媒体は、前記貯蔵と計量分配容器内の前記収着済み気体を分解させるに十分な濃度の水、金属ならびに酸化物よりなる遷移金属種からなる群より選ばれた微量成分がないことを特徴とする吸着・脱離装置。

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開昭47-027181
  
• 特公昭45-020170
  
• 特開平3-205311
  
• 特開昭63-303805