特許

J-GLOBAL ID：200903054601587260

基板バックアップ装置

発明者： 尾中 泰治郎 ,  浅黄 攻
出願人/特許権者： ソニー株式会社
代理人 (1件)： 澁谷 孝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-175553
公開番号（公開出願番号）：特開平10-004299
出願日： 1996年06月14日
公開日（公表日）： 1998年01月06日
要約：

【要約】【課題】 バックアップピンを基板に当てたり離したりする際に発生する衝撃を緩和できる基板バックアップ装置を提供する。【解決手段】 基板17をバックアップするバックアップピン12を備えた基板バックアップ手段13a、13b、15を基板方向へ昇降させる昇降手段は、バックアップピン12が基板17に当たる直前及び離れる時点では基板バックアップ手段を低速で昇降させる低速用エアーシリンダ20と、その他の時点では高速で昇降させる高速用エアーシリンダ20とから構成されている。高速用エアーシリンダ20のシャフト20aがアングルプレート23にて低速用エアーシリンダ21に連結され、低速用エアーシリンダ21のシャフト21aに駆動プレート15が連結されている。

請求項（抜粋）：

基板をバックアップするバックアップピンを備えた基板バックアップ手段と、該基板バックアップ手段を基板方向へ昇降させる昇降手段とを備える基板バックアップ装置において、前記昇降手段は、前記基板バックアップ手段のバックアップピンが基板に当たる直前及び離れる時点では前記基板バックアップ手段を低速で昇降させる低速昇降手段と、その他の時点では高速で昇降させる高速昇降手段とを有することを特徴とする基板バックアップ装置。