特許
J-GLOBAL ID：200903054606955357
風速センサ
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
岡田 全啓
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-313297
公開番号（公開出願番号）：特開平5-126840
出願日： 1991年10月31日
公開日（公表日）： 1993年05月21日
要約：
【要約】【目的】 温度補償効果を満足し、かつ、従来のものに比べて製造コストを下げることができる、風速センサを提供する。【構成】 この風速センサ10は基板12を含み、基板12の上にはヒータ用薄膜測温抵抗体14と温度補償用薄膜測温抵抗体16とが形成される。ヒータ用薄膜測温抵抗体14には、白金測温抵抗体が用いられる。また、温度補償用薄膜測温抵抗体16には、たとえばニッケル合金などの金属膜を用いた測温抵抗体が用いられる。この温度補償用薄膜測温抵抗体16は、白金測温抵抗体に近い抵抗温度係数を有する。さらに、基板12の上には、検出回路18として、定温度法の回路が形成され、検出回路18は、ヒータ用薄膜測温抵抗体14と温度補償用薄膜測温抵抗体16とに接続される。
請求項（抜粋）：
気流によって奪われる熱量を測定するためのヒータ用測温抵抗体、および前記気流の温度を測定するための温度補償用測温抵抗体を含み、前記温度補償用測温抵抗体は、白金の抵抗温度係数に近い抵抗温度係数を有する抵抗材料で形成される、風速センサ。
IPC (2件)：
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