特許

J-GLOBAL ID：200903054633744155

積層型変位素子およびその製造方法

発明者： 染次 孝博 ,  渡辺 純一 ,  渡部 嘉幸 ,  定村 茂 ,  田中 清巳 ,  風間 和夫
出願人/特許権者： 日立金属株式会社
代理人 (1件)： 森田 寛
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-184958
公開番号（公開出願番号）：特開平5-029680
出願日： 1991年07月25日
公開日（公表日）： 1993年02月05日
要約：

【要約】 (修正有)【目的】 積層体の側面に露出させた内部電極の側端部を外部電極を介して電気的に接続する場合の信頼性を向上させた積層型変位素子およびその製造方法を提供する。【構成】 電気機械変換材料からなる薄板1,2と導電材料からなる内部電極3,4とを各々複数個交互に積層し、1層おきの内部電極の側端部に導電材料からなる外部電極9,10を電気的に接続してなる積層型変位素子において、1層おきの内部電極の側端部を薄板の側端部から突出させると共に、この突出部を内部電極の厚さ寸法より大なる厚さ寸法を有し横断面形状を土筆状若しくはきのこ状に形成し、前記突出部間の他の内部電極の側端部およびその近傍に絶縁層7,8を設け、突出部の周辺および絶縁層の外方に外部電極を設ける。

請求項（抜粋）：

電気機械変換材料からなる薄板と導電材料からなる内部電極とを各々複数個交互に積層し、1層おきの内部電極の側端部に導電材料からなる外部電極を電気的に接続してなる積層型変位素子において、1層おきの内部電極の側端部を薄板の側端部から突出させると共に、この突出部を内部電極の厚さ寸法より大なる厚さ寸法を有し横断面形状を土筆状若しくはきのこ状に形成し、前記突出部間の他の内部電極の側端部およびその近傍に絶縁層を設け、突出部の周辺および絶縁層の外方に外部電極を設けたことを特徴とする積層型変位素子。