特許
J-GLOBAL ID：200903054636878004
クリーンルーム、及び、半導体装置物流システム
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
三好 秀和 (外7名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-074155
公開番号（公開出願番号）：特開2000-269295
出願日： 1999年03月18日
公開日（公表日）： 2000年09月29日
要約：
【要約】【課題】 クリーンルームの建設費用を低減しつつ、安全性及び設計の自由度の高くすることである。【解決手段】 ワーキングゾーン5の内側に設けられ、半導体装置の保管を行う半導体装置保管庫3と、プロセス装置を保管し、半導体装置保管庫5周辺に設けらたユーティリティーゾーン1とを有している。
請求項（抜粋）：
製造工程に係る半導体装置の処理を行う少なくとも2つ以上のプロセス装置と、これらプロセス装置に沿って設けられ、半導体装置の保管を行う半導体装置保管庫と、を有することを特徴とするクリーンルーム。
Fターム (26件)：
5F031CA02
, 5F031DA01
, 5F031DA17
, 5F031FA01
, 5F031FA03
, 5F031FA07
, 5F031FA11
, 5F031FA12
, 5F031GA02
, 5F031GA45
, 5F031GA47
, 5F031GA48
, 5F031GA49
, 5F031GA58
, 5F031GA59
, 5F031MA02
, 5F031MA03
, 5F031MA07
, 5F031MA13
, 5F031NA03
, 5F031NA15
, 5F031PA01
, 5F031PA02
, 5F031PA05
, 5F031PA26
, 5F031PA30
