特許
J-GLOBAL ID：200903054640572378
超薄板圧電共振子の製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-334056
公開番号（公開出願番号）：特開平5-145362
出願日： 1991年11月22日
公開日（公表日）： 1993年06月11日
要約：
【要約】【目的】圧電素板のエッチング面に発生する凹凸を縮減し、共振子のQを向上させた超薄板圧電共振子の製造方法を提供することを目的とする。【構成】圧電素板主表面の一方或は双方をエッチングによって凹陥し、薄板状の振動部とその周囲を支持する環状囲繞部とを一体的に形成した超薄板圧電共振子を製造する際、エッチング液に所定量の研磨剤を混入して圧電素板のエッチングを行なう。
請求項（抜粋）：
圧電素板主表面の一方或は双方をエッチングにて凹陥し、薄板状の振動部とその周囲を支持する環状囲繞部とを一体的に形成した超薄板圧電共振子を製造する際、エッチング液に所定量の研磨剤を混入すると共にこれらを攪拌して前記エッチングを行うことを特徴とする超薄板圧電共振子の製造方法。
IPC (2件)：
引用特許：
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